电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）结合了等离子体光源的稳定性和质谱的高灵敏度，诞生即自带光环，商品化后更成为微量和痕量元素分析的不二之选。值得一提的是，安捷伦在 1987 年制造了世界上第一台电脑控制的 ICP-MS，成为 ICP-MS 自动化控制的开端。
